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第852章 贝佐斯:8万张!星源氖气?第二场科技大会战!

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  更严苛的是,氖气中水分、氧气、氮气、氪气等关键杂质需要控制在百万分之一以內,才能满足光刻机的日常运作。

  此外,即便勉强提纯到5n標准,后续的运输、钢瓶灌装、管路阀门连接等环节,只要出现轻微泄漏或吸附,水分和氧气的杂质含量就会超標。

  最关键的问题在於检测!

  由於国內缺乏ppb级別的杂质分析仪,哪怕把氖气提纯后,也无法检测出目標物质含量是否低於亿分之一。

  这种“看不见、测不准”的困境,和去年研发破晓a220光刻机时如出一辙。

  没有检测手段,连摸著石头过河的机会都没有。

  不知道对错,怎么搞研发?

  说白了,氖气的提取本身並不难,空气中就含有0.00182%的氖气,工业级的4n氖气也已实现了量產。

  但要达到光刻机所需的“5.5n纯度+ppb级痕量杂质控制”標准,以国內的研发进展,至少还要五年才能突破。

  氖气是光刻机准分子雷射器的核心工作气体,没有它,光刻机就无法点亮雷射、完成曝光。

  哪怕再先进的euv光刻机,没有氖气也只是一堆废铁,再顶尖的晶圆厂也只能被迫停工。

  这也是北美中枢司的目的!

  直接卡脖子,逼著森联集团认怂,甚至交出烛龙z100的部分核心技术。

  换作旁人或许早已慌了神,但陈延森反手就將airliquide、linde、pra

  air、taiyonipponsanso和iceblick这五家公司列入黑名单。

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